探针检测设备

节省人力、产能高且稳定、品质卓越；程序化控制，可兼容不同尺寸产品检测；伺服传动，运动精度高、速度快、运行平稳。

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探针检测设备是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

编号品牌鸿圆备注

1 型号 HY-FB-44H

2 外形尺寸 1900*2100*1000(mm)

3 设备精度 ±0.05 mm 不含来料误差

4 良率 99.5%

5 设备功率 1.5KW

6 使用气压 0.4MP-0.7MP

7 电源参数 220V/50HZ

概述：在集成电路产业链中,集成电路测试是惟一一个贯穿集成电路生产和应用全过程的产业.如果集成电路设计没有通过原型的验证测试,就不可能投入量产;量产中,晶圆片如果没有通过探针测试台的中测,就无法在下一个工序中进行封装;而封装后的成品测试(成测)又是集成电路产品的最后工序,只有测试合格的电路才可能作为正式的集成电路产品出厂.该设备主要是对金属探针进行多功能检测，旋转平台由分割器组成，分为六工位，通过人工上料，进行压力检测，阻抗检测，铆压口检测，不良品剔除等特性检测。通过这样的模块化设计，有利于提高工作效率

。